博顿光电：高端离子源核心技术的引领者

博顿光电，中山市博顿光电科技有限公司，是一家从事新型离子源关键技术研发及整机装备设计的制造的高新技术企业。公司核心团队出自北京大学、北京理工大学、暨南大学等国内知名高校，在光电技术与微纳加工高端装备制造领域具备国内顶尖专业技术研发与设计能力。目前已推出的完全自主可控新型射频离子源产品，填补了国内在高端离子源领域的空白，改变了高端微纳加工设备核心技术长期被国外垄断的局面。

镜湖资本在2017年天使轮投资于博顿光电，估值2000万。2019年底获得广东粤科及国民创投1500万增资，估值8000万，2021年底获建信资本投资，估值3.8亿。最新一轮融资由中芯聚源按6.3亿估值进行投资。